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Reaktionsräder

Bei einem Reaktionsrad wird eine Masse an einem Motor befestigt. Wird der Motor in der Schwerelosigkeit angetrieben und die Masse in Rotation versetzt, erzeugt das auch eine Gegenrotation des Restlichen Trägers.

reaktivem Ionentiefätzen

Reaktives Ionentiefätzen – auch bekannt als Bosch-Prozess – ist ein Trockenätzverfahren, mit dem anisotrope Ätzprofile im Silizium erzeugt werden können. Möglich ist dies dank der zwei Schritte, nämlich dem Ätzen und Passivieren, die abwechselnd durchgeführt werden.

Reaktives Ionentiefenätzen

Reaktives Ionentiefenätzen (auch bekannt als Bosch-Prozess) ist ein Trockenätzverfahren, welches ein besonders anisotropes Ätzprofil erzeugt. Durch eine iterative Prozessabfolge aus Ätzen und Passivieren können die Seitenwände des Materials in bereits geätzten Kavitäten geschützt und so sehr tiefe Strukturen erzeugt werden.