Degradationsverhalten
Änderung der physikalischen und chemischen Eigenschaften eines Materials als Reaktion auf äußere Einflüsse wie zum Beispiel Temperatur und UV-Strahlung. Führt in der Regel zu Abbau- und Zerfallsvorgängen innerhalb des Materials.
Diaphragma
eine trennende Scheidewand zwischen zwei Bereichen
Durchkontaktierung
Ein elektrische Kontakt führ durch das Substratvolumen zur einer anderen Substratebene; oft von einer Oberfläche zur anderen Oberfläche