Durch eine Anregung der Elektronen einer Probe mittels Elektronenstrahl senden diese für die jeweiligen Elemente spezifische Röntenstrahlung aus, wodurch die Elementzusammensetzung bestimmt werden kann.
Durch eine Anregung der Elektronen einer Probe mittels Elektronenstrahl senden diese für die jeweiligen Elemente spezifische Röntenstrahlung aus, wodurch die Elementzusammensetzung bestimmt werden kann.