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Ra Re Ru
Rea Rei

Reaktives Ionentiefätzen – auch bekannt als Bosch-Prozess – ist ein Trockenätzverfahren, mit dem anisotrope Ätzprofile im Silizium erzeugt werden können. Möglich ist dies dank der zwei Schritte, nämlich dem Ätzen und Passivieren, die abwechselnd durchgeführt werden.