Die Fotolithographie ist ein Verfahren der Mikrosystemtechnik, bei der photosensitive Materialien mittels Maskierung strukturiert werden. Hierdurch können sehr kleine Strukturen bis in den Nanometerbereich erzeugt werden.
Die Fotolithographie ist ein Verfahren der Mikrosystemtechnik, bei der photosensitive Materialien mittels Maskierung strukturiert werden. Hierdurch können sehr kleine Strukturen bis in den Nanometerbereich erzeugt werden.