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MEMS

Kurzform von mikro-elektro-mechanisches System. Mikroelektromechanische Systeme sind eine Technologie, die in ihrer allgemeinsten Form als miniaturisierte mechanische und elektromechanische Elemente (das heißt Vorrichtungen und Strukturen) definiert werden kann, die unter Verwendung der Techniken der Mikrofabrikation hergestellt werden.