Reaktives Ionentiefenätzen (auch bekannt als Bosch-Prozess) ist ein Trockenätzverfahren, welches ein besonders anisotropes Ätzprofil erzeugt. Durch eine iterative Prozessabfolge aus Ätzen und Passivieren können die Seitenwände des Materials in bereits geätzten Kavitäten geschützt und so sehr tiefe Strukturen erzeugt werden.